半导体行业主要使用?气体质量流量计?和?电磁流量计?，具体选择需根据工艺场景和介质特性决定：

法米特气体质量流量计

适用于晶圆加工、离子注入、真空封装等工艺，需高精度控制气体流量以确保工艺稳定性。例如：

?湿法蚀刻工艺?：精确控制HF、H?O?等化学气体的流量，避免蚀刻不足或过蚀。 ?

?离子注入工艺?：监测Ar等惰性气体流量，维持离子源稳定性。 ?

?真空封装测试?：配合压力传感器实现动态补偿，防止外部气体渗入导致氧化失效。 ?

法米特电磁流量计

在晶圆级封装等场景中，电磁流量计可监测N?保护气体等流体，但其应用更多集中在气体质量流量计的上下游工艺环节。